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液體粒子計數(shù)器
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日本理音RION KS-42C 液體粒子計數(shù)器

日本理音RION KS-42C 液體粒子計數(shù)器

RION/日本理音液體粒子計數(shù)器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如堿,有機溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測化學機械拋···...
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詳情介紹

RION/日本理音液體粒子計數(shù)器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如堿,有機溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線和離線測試。

 

特點優(yōu)勢

光源鐳射二極管(波長:780nm,額定輸出:5mW)

鐳射材料 人造石英PFA PTFE

流量10ml/分鐘

粒徑范圍(7通道,標配) ;   ≥0.5μm;  1μm;   2μm;   3μm;   5μm;  10μm;  20μm 

可選通道 1-10個通道,由控制器設定,設定范圍:0.5~20μm

粒子數(shù)量 1200顆/ml

電源 DC12V(由KE-40B1供應)

尺寸.重量 125(H)X 240(W)  X 151(D)mm,大約:3.2kg

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