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液體粒子計數器
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日本理音RION KS-42B/KS-42BF液體粒子計數器

日本理音RION KS-42B/KS-42BF液體粒子計數器

RION/日本理音液體粒子計數器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如堿,有機溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測化學機械拋···...
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詳情介紹

RION/日本理音液體粒子計數器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數器的使用是為了控制化學品中的粒子,如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學劑比如堿,有機溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線和離線測試。


技術參數

光源鐳射二極管(波長:780nm,額定輸出:40mW)

鐳射材料 KS-42B 人造石英PFA PTFE

KS-42BF 藍寶石PFA PTFE(可測氫氟酸)

流量 10ml/min

粒徑范圍(5通道,標配);    ≥0.2μm;   0.3μm;  0.5μm; 1μm;  2μm  

可選通道 1-10個通道,由控制器設定,設定范圍:0.2~2μm

粒子數量 1200顆/ml

電源 DC12V(由KE-40B1供應)

尺寸.重量 125(H)X  240(W) X 151(D) mm,大約:3.2kg

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