半導體生產環境面臨著嚴峻的挑戰，將最先進的塵埃粒子檢測技術集成到半導體制造工藝中，用高靈敏度粒子計數器提供完整的環境監測解決方案，以確保產品無風險，產量(產品良率···

在工業生產環境中可能存在大量空氣污染物，如粉塵、甲醛、三苯（苯、甲苯、二甲苯）、氨氣、二氧化硫、二氧化氮、總揮發性有機物TVOC等有毒有害氣體及微生物污染，這些污染···

空氣潔凈度是指潔凈環境中空氣含塵微粒量多少的程度，含塵濃度高則潔凈度低，含塵濃度低則潔凈度高。潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區分的，潔凈度等級代表關注粒···

空氣過濾器指用于清除氣流中懸浮顆粒物和某些化學污染物的過濾器，分為粉塵過濾器、化學過濾器(也稱氣相過濾器)，及具備特殊功能的除菌過濾器。不論是工業潔凈室還是生物潔···

潔凈技術是適應實驗研究與產品加工的精密化、微型化、高純度、高質量和高可靠性等方面要求而誕生的一門綜合性高科技技術。它是一門應用型科學，跨越流體力學，空氣動力學，···

潔凈室最主要的作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸的空氣潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產。為了防止污染物進入潔凈室，就需要使用空氣過濾器對空氣進···

潔凈室可以通過高效過濾器或超高效過濾器控制0.1um以上的顆粒灰塵及各種懸浮物，以便提供更潔凈的室內空氣，但除此之外，還有一類有害物質——氣態分子污染物產生的危害更大···

潔凈室是指空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間，其設計、建造到運行均使進入、產生、滯留于房間的粒子受控。為了保證潔凈室的潔凈度一方面需要送入潔凈空氣對室內污染空氣進···