2nm研發順利、3nm持續滿載

據估計，臺積電第三季與第四季3、5納米稼動率幾乎滿載，進入排單階段，3納米滿載盛況更延續至2025年。另外，臺積電透露，N2研發進展順利，將如期在2025年進入量產、N2P預計在2026年下半年量產。

隨著半導體制造工藝節點的不斷縮小，對環境潔凈度的要求也越來越高，需要管控的污染物已不僅局限在顆?；覊m及各種懸浮物，而是精確到了氣態分子污染物（AMC）。

AMC分類

國內曾統計過，在無潔凈級別要求的環境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64位儲存器僅2%。可見，潔凈環境對產品工藝良率的影響巨大。

為了滿足對先進工藝的迫切需求和對良率提升的挑戰，億天凈化提供的 AMC 檢測 控制 監測一站式解決方案，可根據客戶的需求提供多方面的專業服務，以保障對AMC的嚴格控制。

AMC 檢測

對半導體潔凈室進行AMC采樣，通過技術診斷分析，確認AMC主要成分及濃度，針對性提出最匹配實際環境需求的解決方案，達到最佳空氣凈化效果。?

AMC 控制

化學過濾器是去除AMC的關鍵技術?；瘜W過濾器采用了先進的材料和技術，不僅具備出色的選擇性吸附能力，而且能夠根據污染物的種類和濃度進行定制，以適應不同工藝階段的需求，確保在各個關鍵工藝中對AMC的高效去除。

AMC 監測

為了實時掌握AMC含量濃度，確保污染控制的持續穩定性，還需搭建AMC在線監測系統，對潔凈室內AMC含量濃度等環境參數進行實時監測，實時掌握空氣潔凈度的變化趨勢，以及任何一次超出控制的異常情況，讓污染物在對工藝、產品可能產生不良影響之前就采取措施，清除可能的不良作業、污染源和污染事件。 

對AMC污染的控制是一項至關重要和復雜的任務，它涉及多個層級，要求方案精確且全面。除了以上的控制措施，還應該從選址、人員操作、材料設備等源頭進行控制，來有效降低AMC的濃度，保證半導體制造過程的穩定性和產品質量的可靠性。