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電子半導體行業AMC控制方案

2024-08-19
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深圳市億天凈化技術有限公司

2nm研發順利、3nm持續滿載

據估計,臺積電第三季與第四季3、5納米稼動率幾乎滿載,進入排單階段,3納米滿載盛況更延續至2025年。另外,臺積電透露,N2研發進展順利,將如期在2025年進入量產、N2P預計在2026年下半年量產。

隨著半導體制造工藝節點的不斷縮小,對環境潔凈度的要求也越來越高,需要管控的污染物已不僅局限在顆粒灰塵及各種懸浮物,而是精確到了氣態分子污染物(AMC)。

 

AMC分類 

AMC分類

國內曾統計過,在無潔凈級別要求的環境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64位儲存器僅2%。可見,潔凈環境對產品工藝良率的影響巨大

為了滿足對先進工藝的迫切需求和對良率提升的挑戰,億天凈化提供的 AMC 檢測 控制 監測一站式解決方案,可根據客戶的需求提供多方面的專業服務,以保障對AMC的嚴格控制

 

AMC 檢測

對半導體潔凈室進行AMC采樣,通過技術診斷分析,確認AMC主要成分及濃度,針對性提出最匹配實際環境需求的解決方案,達到最佳空氣凈化效果。?


AMC 控制

化學過濾器是去除AMC的關鍵技術。化學過濾器采用了先進的材料和技術,不僅具備出色的選擇性吸附能力,而且能夠根據污染物的種類和濃度進行定制,以適應不同工藝階段的需求,確保在各個關鍵工藝中對AMC的高效去除。

AMC 控制 

 

AMC 監測

為了實時掌握AMC含量濃度,確保污染控制的持續穩定性,還需搭建AMC在線監測系統對潔凈室內AMC含量濃度等環境參數進行實時監測,實時掌握空氣潔凈度的變化趨勢,以及任何一次超出控制的異常情況,讓污染物在對工藝、產品可能產生不良影響之前就采取措施,清除可能的不良作業、污染源和污染事件。AMC 監測 

AMC污染的控制是一項至關重要和復雜的任務,它涉及多個層級,要求方案精確且全面。除了以上的控制措施,還應該從選址、人員操作、材料設備等源頭進行控制,來有效降低AMC的濃度,保證半導體制造過程的穩定性和產品質量的可靠性。


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