氣態(tài)分子級污染物 (AMC)已經(jīng)成為影響產(chǎn)品良率的主要因素之一，特別是電子半導體行業(yè)，在生產(chǎn)廠房建設過程中產(chǎn)生并殘留的及生產(chǎn)制造過程中產(chǎn)生的AMC會通過物理和化學反應侵蝕廠房和工藝設備材料最終影響甚至改變正常工藝制程，大大降低產(chǎn)品良率。

1.AMC來源

AMC污染源分兩大部分

1.室外大氣：主要來源于外部環(huán)境中的氣相污染物，如廠區(qū)內外的工業(yè)廢氣、汽車廢氣、自然環(huán)境揮發(fā)等；

2.室內環(huán)境：主要來源于廠房建設及臨時用材料（如環(huán)氧、涂料、油漆、膠及膠水、塑料制品等）、施工工序（如焊接、熱熔、切割打磨等）、室內人員、工藝生產(chǎn)過程中的氣體或化學品的泄漏、散發(fā)、揮發(fā)等。

2. AMC分類

AMC種類復雜,來源廣泛,控制難度高。根據(jù)SEMI發(fā)布的標準中將AMC分為四類:

1.酸性分子污染物：如HF、SO2、CL2等;

2.堿性分子污染物：如NH3等;

3.有機化合物：如SiH4，碳氫化合物等;

4.摻雜物：如磷（P)、硼(B）等。

3.AMC控制

1.污染源控制:通過檢測分析識別污染物來源，采取措施對污染源進行控制，減少AMC的產(chǎn)生和釋放；

2.通風控制：引入潔凈空氣，排走或者稀釋污染的空氣；

3.“根除”控制：目前行業(yè)中廣泛應用并證明是最有成效的控制AMC方式一般是：通過物理吸附或化學反應控制和去除污染物。

用化學過濾器的化學反應來根除控制AMC是目前被行業(yè)極力推薦及其效果也深受信賴的一種方式，它可以將污染物同吸附劑中的化學物質發(fā)生化學反應，從而達到去除污染物的目的，億天凈化濾料正是通過這一原理來實現(xiàn)。相比物理吸附,這種化學吸附效率更高,而且會將有毒有害氣體通過化學反應氧化為無害的固體。

4.產(chǎn)品選型

通過檢測識別空氣中AMC的具體種類和濃度，億天凈化可針對每種環(huán)境定制濾料和相關解決方案。

億天凈化化學過濾器適用于AMC控制的要素：

1.效率：高效過濾，比傳統(tǒng)活性炭更廣譜去除氣態(tài)分子污染物

2.兼容性：安裝簡單，可以輕松安裝于現(xiàn)有的空調機組中，規(guī)格多樣.可根據(jù)客戶的需求定制不同的尺寸和形狀。

3.壓損：低阻力，無遞增壓損，節(jié)能環(huán)保

4.潔凈度：通過化學反應法去除氣態(tài)污染物，氣態(tài)污染物與濾料發(fā)生化學反應，有效杜絕空氣環(huán)境的二次污染，永久去除氣態(tài)污染物，使用壽命長。

5.AMC監(jiān)控

當AMC被決定控制并實行，不管使用哪種控制方式，都必須能夠以實現(xiàn)監(jiān)控這種方式知曉環(huán)境是否能滿足指定的AMC控制標準，主要包括潔凈空間和各級過濾系統(tǒng)的最終控制效果。

AMC化學污染物在線監(jiān)測系統(tǒng)

億天凈化提供的AMC化學污染物控制綜合解決方案中，會運用相關智能在線監(jiān)測系統(tǒng)對潔凈室內部分區(qū)域AMC含量濃度等環(huán)境參數(shù)進行實時監(jiān)測，實時掌握空氣潔凈度的變化趨勢，以及任何一次超出控制的異常情況，才能讓污染物在對工藝、產(chǎn)品可能產(chǎn)生不良影響之前就采取措施，清除可能的不良作業(yè)、污染源和污染事件。