國家標準《潔凈室及相關受控環(huán)境空氣化學污染控制技術要求》GB/T 36306-2024由全國潔凈室及相關受控環(huán)境標準化技術委員會(SAC/TC 319)提出并歸口，中國電子工程設計院股份有限公司、中國電子系統(tǒng)工程第三建設有限公司、中國電子系統(tǒng)工程第二建設有限公司、中國科學院大氣物理研究所、深圳市億天凈化技術有限公司、天津大學等單位共同起草。2018年首次發(fā)布為GB/T 36306-2018，本次為第一次修訂。

本文件代替GB/T 36306-2018《潔凈室及相關受控環(huán)境空氣化學污染控制指南》，與GB/T 36306-2018相比，除結構調整和編輯性改動外，主要技術變化如下:

a)更改了標準適用范圍(見第1章，2018年版的第1章)；

b)刪除了空氣分子污染、環(huán)境反應監(jiān)測法、污染物、氣相空氣凈化裝置等術語(見2018年版的3.1、3.2、3.3、3.4)；

c)增加了按化學物濃度劃分空氣潔凈度、釋出氣體等術語(見3.1、3.3)；

d)更改了空氣化學污染物的定義(見3.2，2018年版的3.5)；

e)更改及增加了污染源來源(見4.1、4.2,2018年版的4.1)，刪除了分級與分類(見2018年版的4.2)；

f)增加了一般要求、設計、施工及運行維護等空氣化學污染控制內容(見 5.1、5.2、5.3、5.4)，刪除了確定是否污染及情況、控制措施的內容(見2018年版的6.1、6.2)；

g)更改標題“檢測”為“檢測與監(jiān)測”(見第6章，2018年版的第5章)，更改了檢測的內容(見6.1,2018年版的5.1、5.2)，增加了監(jiān)測的內容(見6.2)。

本文件的空氣化學污染控制技術主要針對有空氣化學污染控制要求的潔凈室及相關受控環(huán)境?？諝饣瘜W污染物的分子尺寸范圍為0.1nm~3nm，通常狀態(tài)下是以氣體或蒸氣形態(tài)存在，常規(guī)高效過濾器和超高效過濾器無法有效去除，使用粒子計數器也檢測不到。

空氣化學污染物種類較多，不同污染物具有不同的化學性質，某些污染物的濃度可隨環(huán)境的溫度、濕度變化而改變，且污染物來源具有很大的隨機性。隨著凈化技術和材料的發(fā)展，空氣化學污染物可以被有效控制和去除，能夠保障潔凈室及相關受控環(huán)境內空氣化學污染物滿足環(huán)境限定要求。

國際器件與系統(tǒng)路線圖(IRDS)晶圓環(huán)境污染控制數據表

億天凈化作為潔凈技術應用綜合解決方案提供商，提供的解決方案在電子半導體等多個領域都有廣泛應用，為眾多客戶提供了穩(wěn)定、合規(guī)、綠色的潔凈環(huán)境。未來將繼續(xù)深度參與構架標準化建設，積極促進標準的落地執(zhí)行，促進潔凈產業(yè)高質量發(fā)展，為高端制程工藝保駕護航。